Case1 (applying the V-IPU) : LED wafer inspection system
V-IPUを適用した開発事例① LEDウエハ検査システム

V-IPUを適用した開発事例①
LEDウエハ検査システム

LEDウエハ検査システムの概要
「お客様の装置」に「当社の画像処理・照明光学」を搭載し、検査システムを構築するという受託開発案件です。
開発事例①は、LEDウエハの検査システムです。
対象物LEDウエハが、ローダー/アンローダーから検査用XYステージに自動供給されます。
供給されたLEDウエハは、検査ステージにセットされ吸引搬送されます。検査は、上面のみ1台のカラーラインセンサでLEDウエハ全体を検査します。LEDウエハ全体の検査(スキャン)が終われば、判定結果をHMI画面に表示してオペレータに全LEDチップの良否判定を通知します。
装置構成
項目 仕様
検査精度 分解能 1μm
RGBカラー検査
モデルベースの検査
照明光学 同軸落射 + リング照明
カメラ 3CCDカラーラインセンサカメラ
判定処理部 Viswill画像処理ユニット搭載
About Technology ビスウィルの技術力

「DJK Pharma Systems」マークに秘められた想い。

「DJK Pharma Systems」は、お客様のモノづくりプロセスの改革に向けて一歩先の提案を行う
第一実業グループファーマ事業のブランドです。